주성엔지니어링(주)의 Cyclone Plus ALD/SDCVD 장치가 "대한민국 10대 신기술" 수상의 영광을 안았습니다.

`대한민국 10대 신기술'은 산업자원부가 한 해 동안 국내에서 개발ㆍ상용화된 신기술 중에서 향후 우리나라의 차세대 성장 동력이 될 세계 최초, 세계 최고 수준의 기술 10가지를 선정한 것으로, 전자정보, 기계소재, 재료, 생명과학 등 6개 분야에서 접수된 총 78건의 기술 가운데 10개의 신기술이 선정되었습니다.

이번 "대한민국 10대 신기술"에 포함된 주성의 Cyclone Plus ALD/SDCVD장치는 5매의 반도체 원판(웨이퍼)을 동시에 처리하는 준배치(semi-batch) 방식으로, 자체 개발한 가스공급장치인 `회전 인젝터(rotating injector)' 등의 신기술이 적용돼 있어, 경쟁사 제품대비 2배 이상 생산성을 가지며, 균일한 박막을 증착하는 등 강점을 가지고 있는 것이 특징입니다.